メインコンテンツに移動
SEMICON Japan 2024

 

エンハンストマテリアル、独・Eifeler開発の平滑・硬質、高密着のPVDコーティング

エンハンストマテリアル「ultrafineシリーズ」 独・Eifeler社が開発した「ultrafineシリーズ」は、平滑・硬質で、密着性の良好なPVDアークコーティング。

 同コーティングは、独自のPVDアーク蒸着技術であるSPCS(strongly poisoned cathode surface)技術の、革新的なプロセスガス制御メカニズムにより、平滑で密着性が良く、硬質で経済的な膜質を可能にしている。平滑性に優れるため、成膜後の仕上げ加工を不要にする。

 優れた密着性と高い硬度が特徴の平滑でディフェクト・フリーのultrafineコーティングシリーズは、マイクロ切削加工工具(SISTRAL®-ultrafine)やミリング加工(TiCN-ultrafine)、樹脂成形金型(TiN-ultrafine)、手術器具、など広範に適用できる。なお、日本国内はエンハンストマテリアル( http://www.emc-h.com/ )が窓口となる。