表面技術協会、8/25に「ドライプロセスの基礎と薄膜作製」セミナー

　表面技術協会（ http://www.sfj.or.jp ）は8月25日、千葉・習志野市の千葉工業大学 津田沼キャンパスで夏季実習セミナー「ドライプロセスの基礎と薄膜作製」を開催する。参加費は、同協会会員22000円、一般35000円、学生5000円。希望者は 同協会ホームページから申込書をダウンロードのうえ、電子メールで申込む。

スケジュール
10：00～10：40 「真空技術と蒸着の基礎」大工原 茂樹氏（前・日本真空学会）
10：40～11：20 「プラズマ技術とイオンプレーティングの基礎」柏木邦宏氏（東洋大学名誉教授）
11：30～12：10 「プラズマ診断の基礎」小田昭紀氏（千葉工業大学工学部）
12：10～12：30 「実習方法（実習Ａ～Ｃの研究室見学）などについて」井上泰志氏、小田昭紀氏、坂本幸弘氏
13：00～17：00 「実習」
実習A 「プラズマプローブ装置と質量分析装置によるプラズマ診断」
実習B 「スパッタリングによる化合物薄膜作製」
実習C 「プラズマによる表面硬化／プラズマCVDによるダイヤモンド薄膜作製」