大塚電子、測定タクト1秒の顕微分光膜厚計を6月から発売

　大塚電子は6月から、非接触・非破壊で測定時間1秒／1ポイントの高速タクトを実現する顕微分光膜厚計「OPシリーズ」を順次リリースしていく。

　分光干渉法により、ターゲット膜の絶対反射率を測定、多層膜厚や光学定数（n：屈折率、k：消衰係数）を精度良く解析。自動XYステージタイプによるR&D分析用途や品質管理用途のほか、膜厚測定に必要な機能をヘッド部に集約したことで、組込みヘッドタイプでは生産装置に組み込むことでインライン計測用途にも適用できる。

　同顕微分光膜厚計では、顕微下で広い測定波長範囲を実現する光学系（紫外～近赤外）や、エリアセンサによる安全機構を備えている。また、測定シーケンスをカスタマイズ可能なマクロ機能を搭載した上、初心者でも光学定数解析が可能な分かりやすい解析ウイザードを用意した。さらに、固定ステージと組込みヘッド仕様をラインナップしたことで、各種カスタマイズに対応する。

　リリース時期としては、波長範囲が230～800nmで膜厚範囲（SiO2換算、以下同じ）が1 nm～35μmの「OP-A1」を6月に、波長範囲が360～1100nmで膜厚範囲が7nm～49μmの「OP-A2」と波長範囲が900～1600nmで膜厚範囲が16nm～92μmの「OP-A3」をそれぞれ9月に予定（いずれも、自動XYステージタイプの仕様）。

　3機種とも、自動XYステージタイプではサンプルサイズが最大200mm×200mm×17mm、スポット径がφ10μm（反射20倍レンズ）ほか、タクトタイムが1秒／1ポイントに対応する。