ブルカーナノ表面計測事業部、in-situ SEM用ナノ機械的特性評価装置をリリース

　ブルカーナノ表面計測事業部はin-situ SEM用のナノ機械的特性評価装置「Hysitron PI 89 SEM PicoIndenter™」をリリースした。同社従来のシステムに比べ、SEM（走査型電子顕微鏡）内で、より高負荷で過酷な環境下での試験を可能としており、高強度な材料の変形メカニズムの理解に役立つ。同社の高性能コントローラーと独自のトランスデューサーおよび独自の変位コントロールテクノロジーを組み合わせることで、幅広い試験に対応する。

　本システムは、2通りの取り付け方が可能なRotation Tilt（回転傾斜）ステージを備えた世界最初のin-situシステム。これにより、SEM観察を行う際のサンプル位置決め、ミリング用のFIBカラムへの傾き調整、結晶方位の向き調整のための回転や、複雑な材料の構造と特性の相関性の研究を可能にする幅広い検出器との互換性を実現する。

　本システムはまた、自動測定、高速機械的特性マッピング（XPM）、疲労試験、ナノトライボロジー試験、Push-to-Pullデバイス（特許取得済み）を用いた薄膜およびナノワイヤーの引張試験、直接的な引張試験、SPMイメージング、電気的特性評価モジュール、高温試験（特許取得済み）、回転および傾斜ステージ（特許取得済み）、EBSD・EDS・CBD・TKD・STEMなどの分析技術との互換性を提供する。