特集:DLCコーティングの現状と最新技術動向
◇PECVD成膜法およびFCVA成膜法による三次元部材へのDLC成膜と特性評価・・・鳥取大学 為野 悠人、東京工業大学 平田 祐樹
◇DLC膜の膜質制御と評価に関するこれまでの取り組み・・・同志社大学 中村 守正
◇DLC膜の光学的特性評価法のISO規格とその活用・・・DLC工業会 平塚 傑工
◇DLCコーティングのアルミ材による摩耗メカニズム・・・ナノコート・ティーエス 熊谷 泰、川本 秀士、坂下 武雄
◇DLCコーティングの特性を活用した新分野への展開・・・東研サーモテック 髙橋 顕 氏に聞く
◇ガスクラスターイオンビーム(GCIB)による高密度・低残留応力DLC膜の形成・・・野村鍍金 西山 昭雄、吉川 亮太、兵庫県立大学 豊田 紀章
連載
注目技術:半導体製造プロセス向けDLCコーティング・・・日本コーティングセンター
トピックス
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