特集:表面改質最前線
◇Beyond 5G/6Gに向けた電子デバイスと表面処理技術・・・関東学院大学 盧 柱亨
◇反射防止膜の技術動向・・・ニデック 川島 崇睦
◇半導体製造プロセス向けドライコーティングの開発と適用・・・日本コーティングセンター 川名 淳雄 氏、角谷 行崇 氏に聞く
◇ドライコーティングにおける洗浄技術の動向・・・東ソー 大川 朋裕
キーテク特集:表面観察
◇原子間力顕微鏡の最新技術と評価事例・・・パーク・システムズ・ジャパン 田 小維、金 鍾得
◇高精度カメラによる外観検査技術と、FCVセパレータなど高機能部品への適用・・・コニカミノルタ 宇田川 純一 氏に聞く
連載
注目技術:ハノーバーメッセ2023で披露されるコーティング技術・・・コーティング関連出展各社
トピックス
ASTEC/SURTECH/nano tech2023などが開催、表面改質や表面試験・評価技術が一堂に
日本半導体製造装置協会、半導体・FPD製造装置の需要予測を公表