エンハンストマテリアル、アーク式PVDコーティング装置の拡販を開始

　エンハンストマテリアル（ http://www.emc-h.com/ ）は、ドイツ・Eifeler社が開発したアーク式PVDコーティング装置「alpha series」の拡販を開始した。

　同シリーズは、Eifeler社の20年以上に及ぶ技術開発能力と受託コーティングの経験が蓄積された装置。一段に四つのカソード電源を備える同シリーズは、各カソード電源で材料や設定条件を変えることが可能で、多数の膜種や多層膜をコーティングすることができる。シリーズは三種類で構成されており、「alpha200」はカソード電源が一段（オプションで二段まで増やすことが可能）、「alpha400P」は三段、「alpha900P」は六段と処理量によって選択できるようになっている。

　装置は脱気、加熱、コーティング、冷却のサイクルがスピーディーに行えることから、標準的な成膜レシピで最大挿入時でのサイクル時間はおよそ4時間と高速処理を実現する。

　同社は、スパッタリングターゲットやPVD材料の薄膜材料を製造・販売することを目的に2005年に設立。今後、薄膜材料を納めている企業を中心にPVDコーティング装置の拡販を図る。また、拡販にあわせて同シリーズのカタログを制作した。