東陽テクニカ、測定環境をモニタリングする温度・湿度センサーを内蔵したSPM

　東陽テクニカは、高分解能測定性能に加えて温度や湿度等の測定環境を監視する機能を備えた走査型プローブ顕微鏡(Scanning Probe Microscope:SPM)「7500型SPMシステム」の販売を開始した。

　同品は、－30℃から250℃までの範囲で、試料を加熱・冷却させながら表面形状や物性測定を行うことができる。大気圧下での加熱・冷却試験が可能なため、実環境に近い状態での測定が可能。また、フレクシャー構造の新型スキャナは、走査範囲90um、高さ追従範囲12umと広域スキャンにおいて0.5%以下の測長精度で測定できる。ノイズレベルも0.03nm以下にまで抑えており、マイクロメートルから原子像観察までの観察を一つのスキャナで行える。