表面技術協会（ http://www.sfj.or.jp ）は8月21日～22日、千葉・津田沼の千葉工業大学 津田沼キャンバスで夏季実習セミナー「ドライプロセスの基礎と薄膜作製」を開催する。同協会の会員は、講義・実習参加コースで32000円、講義のみで12000円。一般は同45000円、同24000円。学生は同10000円、同4000円。 同協会ホームページから申込書をダウンロードの上、事務局宛に電子メール、Fax、郵送のいずれかの方法で申込む。
スケジュール
講義：8月21日（木） 10：30～17：00
10：30～ 「挨拶」
10：40～12：00 「真空とプラズマ」井上泰志氏（千葉工業大学工学部）
13：00～13：45 「真空蒸着とイオンプレーティング」柏木邦宏氏（東洋大学名誉教授）
14：00～14：45 「スパッタリング」中野武雄氏（成蹊大学理工学部）
15：00～15：45 「CVD」坂本幸弘氏（千葉工業大学工学部）
16：00～16：45 「プラズマのモニタリング」小田昭紀氏（千葉工業大学工学部）
17：30～18：30 「技術交流会」（別途参加費：2,000円）
実習：8月22日（金） 10：00～17：00
10：00～ 挨拶
10：10～12：00 実習A～Cの研究室見学（実習の内容／ポイント、薄膜作製と特性評価について）
13：00～17：00 午前の見学後、アンケートを実施→実習テーマを2つ選択、午後の実習に入る。
実習A プラズマプローブ装置と質量分析装置によるプラズマのモニタリング
実習B スパッタリングによる化合物薄膜作製
実習C プラズマによる表面硬化/プラズマCVDによるダイヤモンド薄膜作製
機械・要素技術
ベアリング＆モーション
