日本電子、最高加速電圧300kVの原子分解能電子顕微鏡

　日本電子は、収差補正装置を備えた最高加速電圧300kVの原子分解能電子顕微鏡「JEM-ARM300F」の販売を行っている。

　同品は、十二極子を採用した自社製補正装置の搭載により、分解能を63pmまで向上することに成功した（STEM像分解能）。また、顧客のニーズに応じて、高分解能観察を重視した超高分解能構成と、高感度分析やその場観察を重視した構成を選択できるようになった。加速電圧は、300 kVと80 kVが標準構成。オプションで顧客の要望に応じた加速電圧に対応する。自社開発した球面収差補正装置を結像系（TEM収差補正装置）および照射系（STEM球面収差補正装置）に搭載可能で、収差補正装置の自動調整を実現している。