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SEMICON Japan 2024

 

日立ハイテクノロジーズ、前処理なしですばやく観察・分析できる卓上顕微鏡

日立ハイテクノロジーズ 日立ハイテクノロジーズ( http://www.hitachi-hitec.com )は、光学顕微鏡を超える高い倍率で観察ができ、低真空機能により試料を前処理なしですばやく観察・分析できる新型卓上顕微鏡「Miniscope TM3030Plus」の販売を開始した。

 同品は、多様化するニーズに対応するため、新たに二次電子検出器を搭載した。従来機では、試料の組成や凹凸情報を得ることができる反射電子像で観察を行っていたが、上位機種で採用している高感度低真空二次電子検出器を搭載することで、試料表面の微細形状が観察できる二次電子像の観察も可能となった。また、低真空機能により、試料の前処理をすることなく、二次電子像と反射電子像の迅速な観察・分析や合成像の観察が可能となり、幅広い用途に対応した鮮明な画像観察が行える。