菱化システム( http://www.rsi.co.jp )が販売する「VertScan」は、垂直分解能・精度・スピードに優れた表面形状計測と透明積層体を非破壊で計測する層断面計測を統合した光干渉方式のシステム。
触針式粗さ計を凌駕する2次元面での粗さ情報を容易に取得できるため、金型のような精密機械加工表面の粗さ管理、傷の評価、トライボロジーに関する粗さ、微小うねり、摩耗量の定量化に最適。また、フィルム上の1μm以上のコーティング層の厚み計測はユニークな機能。測定対象の表面の色を粗さデータに重ねられる機種もラインナップ。装置導入のためのデモ測定を随時受け付けている。計測対象の広がり、ソフトの使いやすさ、解析方法の豊富さを実感できるシステム。