日本電子、SEMとFIB鏡筒を一つのチャンバに搭載した新型複合ビーム加工観察装置

　日本電子（ http://www.jeol.co.jp ）は、走査電子顕微鏡（SEM）とFIB鏡筒を一つのチャンバに搭載した複合ビーム加工観察装置「JIB-4610F （FIB）」を開発、販売を開始した。先端材料の構造微細化やプロセスの複雑化に伴い、形態観察、元素分析や結晶解析などの評価技術にも高い分解能と精度が求められるようになっており、これらニーズに応えるために開発された。

　同システムは、ショットキータイプの電子銃を搭載した使いやすいアウトレンズタイプの走査電子顕微鏡（SEM）と大電流加工（90nA）を可能にした新しいFIB鏡筒を一つのチャンバに搭載した装置。FIBによる高速断面加工後の高分解能SEM観察や、大電流（200nA）が得られるショットキー電子銃を活かしたEDS（エネルギー分散型X線分析装置）、EBSD（結晶方位解析システム）、CLD（カソードルミネッセンス）などの各種分析装置による高速分析が可能。また、自動的に一定の間隔で断面加工（Cut&See）を行い、断面ごとにSEM像取得を行う三次元解析機能も標準搭載している。さらにオプションの三次元再構成ソフトを用いることにより複雑な試料の立体構造をより詳しく解析することができる。