NTN、20µmの高さを0.6秒で測定可能な小型・非接触式の三次元測定機

　NTN（ http://www.ntn.co.jp ）は、金属や樹脂の加工品、ガラスやセラミックス基板などの表面に発生する高さ数µm～数10µmの微細形状をスピーディーに三次元表示する小型・非接触式の測定機「微細三次元形状測定機」を開発した。

　同品は、白色干渉法と高速度カメラの採用により、高さ検出分解能5nmの精度を確保し、20µmの高さをクラス最速レベルの0.6秒で測定可能。また、最大1280µm×960µmの視野範囲を高精度に高さ測定することができ、測定時間を短縮する。

　微細加工における分野では、エッチングや精密機械加工、薬液塗布による表面性状や仕上がり寸法の管理が重要であり、工程内および完成品の外観検査により製品品質の維持を図っている。微細加工技術は、電子部品における配線パターンの微細化や、高い信頼性が望まれる医療分野への応用が進み、これまで以上に高い品質とともに検査時間の短縮が要求されている。

微量な液剤を一定間隔で塗布したガラス基板表面　測定時間:0.6秒、高さ測定範囲:20µm、10倍対物レンズで撮影(視野320µm×240µm)