日立ハイテクサイエンス、微小粗さ・形状・膜厚の三次元測定を非接触で行う走査型白色干渉顕微鏡

VS1330　日立ハイテクサイエンス（ http://www.hitachi-hightech.com/hhs/ ）は、微小粗さ・形状および膜厚（オプション）の三次元測定を非接触・非破壊で行う走査型白色干渉顕微鏡「VS1000シリーズ」4モデル（VS1550、VS1540、VS1530、VS1330）の販売を開始した。従来多く利用されている触針式粗さ計・段差計に比べ非接触で高速かつ容易に三次元の粗さ・形状の測定が行えるとともに、透明な多層構造フィルムの膜厚測定（オプション）も可能だという。

　同品は、対物レンズ倍率に依存せず垂直方向0.01nmの高い分解能（Sq分解能）を実現し、触針式粗さ計やレーザー顕微鏡では困難だった微細表面粗さ、段差計測が行える。また、2.5倍対物レンズ使用時の最大視野サイズは7.1×5.3mmを実現し、広視野でのうねり解析にも威力を発揮する。画像連結を用いればさらに広い視野の測定が可能だという。さらにオプション機能を付加することで、透明多層構造の各層の膜厚測定、温度依存性計測も可能になる。

　近年、電子部品や高機能材料、精密加工部品などの開発・製造・品質管理では数nmから数十nmの微小な粗さや形状の測定が求められている。従来の一般的な触針式粗さ計は垂直分解能が100nm程度に留まっており、主に二次元（線＋高さ）の測定が主体で、測定時間も長くかかっていた。

　同社では、走査型プローブ顕微鏡（SPM）や走査電子顕微鏡（SEM）等の表面観察装置を取り扱っているが、今回走査型白色干渉顕微鏡をラインアップに加えることで、シナジーを活かした表面観察ソリューションの提供を進めている。今後、機能性フィルム、半導体、MEMS、自動車、機械および部品メーカー等に販売を進めていく。