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SEMICON Japan 2024

 

島津製作所、従来機の5倍以上のスピードで画像を取得できるSPM

島津製作所「SPM-9700HT」 島津製作所( http://www.shimadzu.co.jp/ )は、従来機の5倍以上のスピードで画像データを取得可能な高スループット走査型プローブ顕微鏡「SPM-9700HT」の販売を開始した。

 同品は、高速な応答を実現した新開発のHTスキャナと、制御系の設計やソフトウェアの最適化により、同社従来機の5倍以上のスピードで画像データを取得可能になった。大幅な測定時間の短縮を通じてトータルのスループット向上を支援する。また、同社独自のヘッドスライドメカニズム」の採用により、スピーディな試料交換と機構の安定性維持を両立できる。さらに、従来、カンチレバーの交換には慎重な作業が必要だったが、専用治具(オプション)を新規開発し、熟練者でなくてもスムーズにカンチレバーを取り替えることができる。

 走査型プローブ顕微鏡(SPM:Scanning Probe Microscope)は、先端の半径が数nmの微小なプローブ(探針)を備えるカンチレバーで試料の表面を走査し、試料の三次元形状や物性を高倍率で測定する顕微鏡。高い分解能を有しており、大気中や液中でも観察可能なため、表面物理や電気・電子、化学、生物など、多様な研究分野で使用の場が広がっている。