表面技術協会、材料機能ドライプロセス部会および関西支部表面物性研究会の合同研究会

　表面技術協会（ http://wwwsoc.nii.ac.jp ）は9月16日、京都市左京区の京都大学 吉田キャンパスで材料機能ドライプロセス部会および関西支部表面物性研究会の合同研究会を開催する。料金は、材料機能ドライプロセス部会会員1社2名迄無料、一般3,000円、学生は無料。講演の内容は以下のとおり。

1. 先進プラズマプロセスを用いた表面技術のイノベーション
   堀 勝氏（名古屋大学 大学院工学研究科）
   　プラズマプロセスは、大規模集積回路や太陽電池をはじめ全産業を支える基幹科学技術である。最近では、多様な表面処理を大気圧下で高速に実現できる新しいプラズマ技術も開発されている。本講演では、先進プラズマプロセスの基礎から応用を解説し、その表面技術へのイノベーションを紹介する。


2. ロールツーロールによる真空成膜技術
   玉垣 浩氏（神戸製鋼所 商品開発部高機能グループ）
   　近年タッチパネルの普及やフィルムを基板にしたディスプレイや太陽電池の開発のニュースが流れる中、ロールツーロール成膜への興味が高まっている。本講演ではロールツーロール成膜手法の概要紹介に続き、同社での取り組みを中心に、透明導電膜形成とバリア膜の形成技術・装置の紹介を行う。


3. スパッタリング法によるPETフィルム上への酸化亜鉛透明導電膜の作製
   檜木 利雄氏（尾池工業 フロンティアセンター）
   　RFプラズマアシストスパッタリング法によるガラス基板上GZO透明導電膜の比抵抗分布、耐湿熱性改善について述べるとともに、PETフィルム上GZO膜の有機バッファー層による耐湿熱性改善、およびRoll to Rollでの長尺フィルムの作製を試みた結果について紹介する。