アルバック、φ300mm基板に対応、自動マッピング機能を搭載した分光エリプソメータ

アルバック（ http://www.ulvac.co.jp ）は、薄膜の膜厚や光学定数の分布を高速で測定できる分光エリプソメータ「UNECS(ユネクス)-3000A」を開発、販売を開始した。

　分光エリプソメータは偏光解析の原理を利用し、透明または半透明薄膜の膜厚や屈折率を非接触で高精度に測定する測定器として、半導体や液晶をはじめ多くの分野で幅広く使用されている測定器。

　同品は、昨年発売された「UNECS-2000」の超高速測定をベースに、φ300mm基板に対応し、自動マッピング機能を搭載することで、膜厚分布測定のパフォーマンスを大幅に向上させた商品になっている。たとえば、φ300mmウェーハ上の106ポイントを測定した場合、約120秒で完了。これは、従来他社の1/5以下の時間に相当し、膜厚分布評価時間を大幅に削減できるという。半導体リソグラフィでのレジスト膜厚分布の評価や有機ELディスプレイの各種有機膜の評価など、生産ラインから研究開発まで幅広い用途に対応できる。
　
　主な特徴は以下のとおり。

1. 自動マッピング機能
   最大でφ300mm基板に対応する自動R-θステージを装備し、基板面内の膜厚・光学定数の分布を自動で測定し、測定結果をカラーマップ表示することができる。


2. 超高速測定
   高次移相子を備えた分光偏光方式によるスナップショット計測で、従来の分光エリプソメータでは不可能であった超高速測定（最速20ms〜）を実現。


3. コストパフォーマンス
   φ300mm自動マッピングや自動高さ調整など充実した機能と、操作PC、解析ソフトなどを標準装備し、優れたコストパフォーマンスを発揮。


4. 編集可能なマテリアルテーブルファイル
   基板や膜の光学定数を納めたマテリアルテーブルファイルをユーザが編集、追加できるため、ユーザオリジナルのデータベースを容易に構築することができる。


5. 多層膜測定
   最大6層までの多層膜の膜厚解析をすることができる（膜厚と光学定数の同時測定の場合は、最上層のみとなる）。

　販売価格は1,500万円（本体、コントローラとPC一式を含む）。初年度販売目標台数は20台。