日本板硝子、CVD法で世界最薄の透明導電膜付きガラスの開発に成功

　日本板硝子（ http://www.nsg.co.jp/ja-jp/ ）は、CVD（Chemical Vapor Deposition：化学気相成長）法により、オンライン（ガラス製造工程）で薄板ガラス(厚み0.7㎜)上に、透明な導電性金属酸化物薄膜を成膜することに成功した。 この0.7㎜透明導電膜付ガラス(NSG TEC^TM)は、オンラインCVDで生産可能な世界最薄の透明導電膜付ガラスになるという。

　透明導電膜付ガラスは、太陽電池用をはじめ、建築用、車両用、医療用、各種電子デバイス用への普及が進み、さらなる応用の可能性も広がっている。これら用途のニーズに対応するために、ガラスの薄板化、軽量化とともに、耐久性、耐薬品性のある透明導電膜の開発が求められていた。

　同社は、オンラインで金属酸化物膜を成膜できるCVD設備を導入し、生産、開発を行ってきた。今回、市場の要求に答えるべく、超薄板ガラス（厚み0.7㎜）上に透明導電膜を成膜することに成功したもの。CVD法により成膜する透明導電膜は、耐久性、耐薬品性にも優れており、課題も克服することができたという。
フロート板ガラスの製造工程とオンラインCVDのイメージ