日本電子、作業効率を従来機種よりも35%高めたSEM

　日本電子は、上位モデルの処理機能の一部を組み込み、従来機種に比べて35％作業効率を向上した走査電子顕微鏡（SEM）「JSM-IT200シリーズ」を開発し、販売を開始した。

　SEMはナノテクノロジー、金属、半導体、セラミックスや医学・生物学の分野など、様々な分野で活用され、その用途を広げている。また、使用される目的も基礎研究から製造現場、品質管理まで幅広くなっており、それに応じて、より早く、より簡単に観察・分析データを取得したいという需要が高まっている。

　同品の主な特徴は以下のとおり。

1. 試料交換ナビにより安全で簡単に試料交換が可能


2. 走査電子顕微鏡（SEM）とエネルギー分散形X線分析装置（EDS）をインテグレーションすることにより、観察から分析までよりスムーズにデータ取得可能


3. ホルダーグラフィック画像、CCD画像とSEM像が連動するZeromag機能により、素早く快適な視野探しが可能


4. 2軸モーターステージ（X,Y）とモンタージュ機能（画像のつなぎ合わせ）を標準搭載することにより、広い領域（mm単位）のSEM像や元素分布をCCD画像から指定して取得可能


5. 観察中も常に元素分析結果が表示されるLive Analysis機能を搭載し、効率の良い元素分析が可能


6. 取得データを一元管理できるSMILE VIEW Labにより、観察から分析まで全データのレポート作成が容易

JSM-IT200シリーズ