東京エレクトロン、成膜装置など半導体製造装置の新棟を建設

　東京エレクトロンは、製造子会社の東京エレクトロン テクノロジーソリューションズの山梨事業所および東北事業所内に半導体製造装置の新棟（生産棟）を建設する。これにより、成膜装置などの製造装置市場の拡大に対応する。

　東京エレクトロン テクノロジーソリューションズが開発・製造している成膜装置などの製造装置市場は、技術革新が続き大きな成長が見込まれている。両事業所の新棟にそれぞれ130億円を投資。新棟の建設により、市場と顧客の需要に迅速に対応することで、中長期における持続的成長を目指す。山梨事業所は、枚葉成膜装置、ガスケミカルエッチング装置、テストシステムの製造、東北事業所は熱処理成膜装置の製造を行う。
山梨事業所新棟完成予想図