メインコンテンツに移動
SEMICON Japan 2024

 

ブルカージャパン ナノ表面計測事業部、フォーカスバリエーション法採用のベンチトップ型非接触3次元光学顕微鏡を発売

 ブルカージャパン ナノ表面計測事業部( http://www.bruker-nano.jp )は、LightSpeed™ フォーカスバリエーションを用いた非接触三次元光学顕微鏡「Contour LS-K(コンター エルエス ケー)」の発売を開始する。

Contour LS-KContour LS-K

 Contour LS-K非接触三次元光学顕微鏡は、高度なアルゴリズムにより最適化されたフォーカシング技術であるLightSpeed™フォーカスバリエーション技術を使用し、従来の方法と比較して高速で、非接触な表面計測技術を提供する。

 5MピクセルCCDの搭載により、高速・高解像度リアルカラーイメージング技術を提供するほか、ソフトウェアは30年以上にわたり開発されたVision64®ソフトウェアをベースに構築しており、データ処理、分析、および視覚化・定量化のための独自のソフトウェアアルゴリズムを特長としている。

 さらにContour LS-Kは、自動X-Yステージ、電動式5ポジション対物タレット、デュアル照明(同軸とリングライト照明)が標準装備されている。

 LightSpeed™フォーカスバリエーションは、大きな凹凸や段差、または急峻な角度を持つ表面計測に理想的で、従来品Contour GT (三次元白色光干渉型顕微鏡) の持つ平滑表面計測技術やナノメートルオーダー計測にも対応する。 

 自動車、精密機械加工、製造、エレクトロニクス、医療機器業界の機械的検査、QA / QC検査、プロセス制御、R&Dなどの幅広いアプリケーションに適用可能。

 Contour LS-Kの特徴は、①Zスキャン速度:5㎜/秒、②最大単一視野8×6mm2(1測定)、③最大測定速度:最大数2000枚ステッチングイメージ対応、④最大サンプルサイズ 150×150×90mm3(評価試料対象範囲)、⑤すべてのレンズで70°以上の角度測定が可能(2.5x、5x、10x、20x、50x)、⑥ソフトウェアVision64®とVision64 Map(各国の規格対応)、など。