日新電機、ビーム・真空応用事業を強化

　日新電機（ http://nissin.jp ）は、イオン注入装置をはじめとするビーム・真空応用事業の事業体質・基盤強化を図るべく、グループ会社で半導体およびフラットパネルディスプレイ（FPD）製造用イオン注入装置の製造、販売を手掛ける日新イオン機器の主力工場である滋賀事業所・プラズマ技術開発センター（以下、滋賀事業所）の土地を購入した。この土地は、日新イオン機器が2004年から定期借地としていたものを日新電機が購入したもの。

　日新イオン機器が製造・販売するイオン注入装置は、半導体やFPDの製造に必要不可欠な装置で、スマートフォンやタブレットなどの有機ELパネルや液晶パネルに使用される中小型ディスプレイ向けのFPD製造用イオン注入装置では世界シェア100％を誇る。

　さらに、パソコン・モバイル機器などあらゆるデジタル機器に内蔵される半導体デバイスの製造に使用される半導体製造用イオン注入装置では、従来の中電流市場に加え、市場規模の大きい大電流市場向け新製品として、FPD製造用イオン注入装置で実績のある高生産性と中電流イオン注入装置で実績のある高精度注入を実現した大電流イオン注入装置「LUXiON®（ルクシオン）」を新たに開発、市場投入するなど、積極的に事業を展開している。

　今回の土地購入に併せて、日新イオン機器は今後技術者を同事業所に集結させ、コア技術であるイオンビーム・プラズマ技術による装置・技術・サービスを世界の顧客に向けて提供するイノベーション拠点とする。また、新たに敷地内に事務棟建設を構想しており、日新電機グループとしてビーム・真空応用事業のさらなる強化・拡大を目指す。
滋賀事業所・プラズマ技術開発センター外観