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SEMICON Japan 2024

 

ミツトヨ、表面粗さ測定と輪郭形状測定を1台で行える表面性状測定機

 ミツトヨ( https://www.mitutoyo.co.jp/ )は、表面粗さ測定と輪郭形状測定を1台で行えるハイブリッドタイプの表面性状測定機「FORMTRACER Avant」シリーズを開発した。

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FTA-S4D3000

 同社では、これまで表面性状測定機のラインアップとして、表面粗さ測定機「SURFTEST」、輪郭形状測定機「CONTRACER」、そして両方の測定に対応するハイブリッド機「FORMTRACER」の各シリーズを展開してきた。「FORMTRACER Avant」シリーズは、これらの製品シリーズを統合・再編した、表面性状測定機の新シリーズとなる。

 同シリーズは、検出器を交換することにより、表面粗さ測定と輪郭形状測定のどちらの用途にも使用できるように設計されている。ラインアップは、表面粗さ測定と輪郭形状測定に1台で対応するハイブリッド機「FORMTRACER Avant D3000/4000」、表面粗さ測定機「FORMTRACER Avant S3000」、輪郭形状測定機「FORMTRACER Avant C3000/4000」。このうち、「S3000」と「C3000/4000」は、輪郭形状測定用検出器あるいは表面粗さ測定用検出器を追加導入することにより、「FORMTRACER Avant D3000/4000」同様にハイブリッド機として活用できる。

 検出器の着脱にはサムターンクランプレバーを採用しており、工具を用いることなく簡易で迅速に交換することができる。交換後は、輪郭/表面粗さ検出器の種別を自動認識するため、検出器切替スイッチの操作忘れによる誤動作や、誤動作に伴う検出器破損の心配はないという。

 測定機能では、高速移動(X軸:最大80mm/s、Z2軸:最大30mm/s)、測定速度の高速化(X軸:30mm/s)を実現。また、測定パートプログラムの作成を強力にサポートするパートプログラムキーを搭載した新型リモートボックスが、測定作業の効率化を支援する。