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SEMICON Japan 2024

 

中部電力など、コンパクトモジュール型ハイブリッド熱処理炉

 中部電力とエコムは、コンパクトモジュール型ハイブリッド熱処理炉「EC Hybrid I」を共同で開発し、販売を開始した。

EC Hybrid Iの外観(2台連結)
EC Hybrid Iの外観(2台連結)

 同品は、高出力で急速に加熱できるガスバーナーと温度制御を高精度に行う電気ヒーターを使い分けるハイブリッドヒーターの搭載や、循環ファンのインバータ制御により、熱処理の工程ごとに最適な熱源と風速を設定することが可能となった。これにより、同品と同等の処理能力を有する従来の熱風循環型熱処理炉と比較して、約50%の省エネを実現した。

 また、ガスバーナーと電気ヒーターの一体化や装置構成の最適化を行ったことにより、約50%の小型化を実現した。

 さらに、熱処理炉をモジュール化し、複数台の連結を前提とすることで、故障時の代用や多品種少量生産、生産量の変動にも柔軟に対応することが可能となった。

EC Hybrid Iの活用例
EC Hybrid Iの活用例