エンハンストマテリアル、大型チャンバーの高生産性PVD成膜システムを追加

　エンハンストマテリアル（ http://www.emc-h.com/ ）は、VoestalpineグループEifeler Vacotec社製のPVDコーティング装置「alphaシリーズ」を販売しているが、このほど、中型機ながら大型の真空チャンバーを有し、高い生産性・効率で高品質のコーティングを成膜できる最新アーク技術採用の「alpha700P」の取扱いを開始した。alpha700Pは本年9月16日～21日にドイツで開催された世界最大級の国際金属加工見本市「EMO Hannover 2019」で発表され、すでに受注実績を持つ。

　alphaシリーズの全般的な特徴としてはタクトタイムが短くプラズマ密度が高いことから高生産性を達成できること、コンパクトな装置サイズで高効率を達成できることが挙げられる。双対する蒸着源を独立コントロールできることから、近年工具や金型のコーティング被膜として要求が強まっているナノ構造や多層膜といった独自の膜種の形成が可能となっている。

　alphaシリーズとしては主に、中型機で開発・生産用として利用されるalpha 400P、大型機で完全生産用のalpha 900Pの採用が進んでいるが、以前からその中間機種が要求されていた。そこで今回、alpha700Pの開発に至ったもの。

　主な特徴としては、まず迅速な冷却システムが挙げられる。独自冷却システムの採用により、工具や部品をコーティングした後の冷却時間を約25％短縮。これにより1日に5バッチの成膜処理が可能になる。

　また、950Lの大型真空チャンバーにより広い成膜ワークスペースを確保、φ10×70mmのエンドミルで1バッチ当たり900本、φ100×150mmのホブで30本を処理できる。
　
　さらに、独自PVD duplexプロセスによって、プラズマ窒化処理とAlCrTiNといったPVDコーティングを1パスで実施でき、両処理に通常費やされる時間を大幅に短縮できるほか、独自SPCS技術によって平滑で密着性の高い膜の成膜を実現している。

　加えてalpha700Pでは、装置デザインをコンパクトなシングルフレーム（Single frame）、あるいはスプリットフレーム（Split frame）から選択でき、設置スペースやレイアウトにフレキシブルに対応できる。