魁半導体、フッ素樹脂を使用したプラズマ撥水コーティング装置

　魁半導体（ https://sakigakes.co.jp/ ）は、PFCガス（温室効果ガス）の代わりにフッ素樹脂を使って撥水加工ができる技術を開発、同技術を使用したプラズマコーティング装置「CFC-550」を販売する。

　撥水コーティングはものづくりの現場では部品や基板の防水、防湿、防錆等に使用され、加工法は液剤を塗布後に乾燥・硬化させる、ウエットコーティング（湿式法）が多く利用されている。

　同品は真空プラズマ技術によるドライコーティングで、プラズマ処理により1度でコーティング・乾燥・硬化でき、ウエットよりも短時間で処理できる。さらに、部品実装された基板のように凹凸のある複雑な形状でも、隙間に回り込んだ加工がウエットコーティングよりも均一に施すことができ、また耐久性はウエットコーティングと同等の効果が得られるという。

　同社はプラズマ装置での環境負荷低減の技術開発を進める中で、今年4月に温室効果ガスの一種、PFCガスの代替としてフッ素樹脂を使用しエッチング加工をするプラズマ装置を開発した。さらにこの技術を基盤とし電極や放電条件、樹脂の配置などの構造条件を研究し、今回新たに撥水コーティング技術を確立した。