東陽テクニカ、XeプラズマFIB-SEMシステムの取扱いを開始

　東陽テクニカ（ https://www.toyo.co.jp/microscopy/ ） は、TESCAN社のXeプラズマFIB-SEMシステム「SOLARIS X」の取扱いを開始した。従来のGa FIB-SEMシステムでは困難だった材料解析のために製品化されたプラズマFIBと、イマージョン光学系を装備した超高分解能FE-SEMが一体となった分析システム。

　TSV（シリコン貫通電極）、MEMS、はんだバンプ、Cuピラー、BGAの全体構造といった広いスケールの構造をもつ材料や深く埋もれた構造をもつ材料に対して、大面積の加工を高速で行うことが可能になることに加えて、クラス最高の低加速SEM観察能力により高い精度での物理解析が実現できる。また、ToF-SIMS、ラマンといった分析技術とのマルチモーダルイメージングが可能。

　特徴は、①最大1mm幅のFIB断面加工を高速で実現した最新型FIB-SEM、②Gaフリーでの微小試料作成、③カーテニング等のアーティファクトを抑制するRocking Stageなど、独自技術を複数搭載、④イマージョン光学系を装備した超高分解能SEM、⑤インカラム検出器による二次電子／反射電子検出、⑥TESCAN 社の特許技術Static 3D-EBSDによる三次元の組織解析、⑦ FIBを一次イオン源としたToF-SIMSを搭載可能、⑧共焦点ラマン顕微鏡との融合が可能、など。