ヘレウス、半導体・電子部品向け表面改質用紫外線モジュールの販売開始

VUV表面改質用モジュールイメージ　ヘレウス（ http://www.heraeus.co.jp/ ）は、半導体・電子部品向けの表面改質用紫外線モジュールの販売を開始、課題となっていたプロセスの効率化とコストダウンに対応した。グループ会社のドイツ・ヘレウス・ノーブルライト社が開発した製品で、工業用特殊光源メーカーとして培った技術と、新たに開発した真空紫外線（VUV）ランプ4本を搭載した表面改質専用のモジュール。

　同品は、表面改質・洗浄に特化して新開発したロングライフ・アマルガム・フラットランプを採用している。課題のプロセスの効率化に対しては、ランプの高出力化、高エネルギー効率化により短時間での紫外線表面処理を行うことができる。またプロセスのコストダウンについては、アウトプットの増加、ランニングコストの削減につながるロングライフランプで対応している。

　主な特徴は以下のとおり。

1. 高出力アマルガムランプ
   従来使用されていた低圧水銀ランプの4倍を超える4.0W/cmまで高出力化したランプを採用し、表面改質・洗浄を行う際に使用される185nmの紫外線波長を90％以上透過する高純度合成石英ガラスを使用。


2. フラットランプ
   表面改質・洗浄処理プロセスでは、被照射物面への均一な放射が重要視されるため、ランプの断面は円筒形状と比較して3倍の照射強度が得られる長方形状フラットランプとした。


3. ロングライフコーティング
   ランプの長寿命化を実現するロングライフコーティングを施し、ランプ交換回数の減少だけでなく、コーティング塗布なしの従来ランプと比較し、初期から照度低下が少ない高照度維持型ランプとした。


4. QRC反射コーティング付き
   最大15パーセントの185nm反射効率（同社検証結果）を得ることができる反射コーティングリフレクターとランプを一体化することで、表面改質・洗浄に有効な紫外線波長185nmの被照射物に対する一次照射を効率良く行え、反射板不要構造となるためモジュールケースの簡素化が可能となる。