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SEMICON Japan 2024

 

光洋サーモシステム、高温域まで処理可能な実験開発用・少量生産用多目的熱処理装置を開発

 光洋サーモシステムは、過熱水蒸気雰囲気を採用したバッチタイプで、高温域まで処理可能な実験開発用・少量生産用多目的熱処理装置「Allfit®(オールフィット)シリーズ AF-μBF」を開発した。過熱水蒸気の効果の有無を確認できるほか、低酸素雰囲気処理を実現している。

多目的熱処理装置「Allfitシリーズ AF-μBF」
多目的熱処理装置「Allfitシリーズ AF-μBF」

 

 過熱水蒸気は加熱空気より比熱が高く、輻射効果も得られるため、開発した装置では短時間の均一に加熱できるほか、低酸素処理が可能となっている。また、過熱水蒸気雰囲気により処理品との反応を促進し、生産性の向上やランニングコストの低減に寄与できる。

 処理用途としては電子部品の脱バインダー・焼成や、金属部品の乾燥・脱脂、セラミック部品の脱脂、樹脂の除去などのほか、従来方式では加熱効率向上が実現できなかった製品の熱処理などに適している。

 熱処理装置の仕様は、最高温度(加熱室内・マッフル外での値):1000℃、常用使用温度範囲(加熱室内・マッフル外での値):400~900℃、マッフル内有効寸法(mm):200(W)×200(H)×400(D)、耐荷重(等分布荷重):10kg、処理雰囲気:過熱水蒸気・N2・Air・H2、残留酸素濃度:20ppm以下(過熱水蒸気導入時・参考値)