IHI HAUZER TECHNO COATING、高生産性のPVD装置を開発

　IHI HAUZER TECHNO COATING（ hauzer.jp ）は、幅広い産業で要求の高まってきている水素フリーDLCコーティング（ta-C）や大型製品向けコーティングの成膜において、最適なコストパフォーマンスを発揮するバッチ式PVD装置「Hauzer Flexicoat^® 1250」を開発した。トライボロジー用途向け、工具向け、装飾部品向けと広範に利用できる。

　装置の主な特徴は有効コーティング容量がφ810mm×高さ850mmで、これまでのベストセラー機種「Flexicoat^® 1200」の既存の治具が使用でき、かつ生産性を33%アップした。磁場を最適化し面内均一のアークスポットが可能な独自アークイオンプレーティング手法「CARC⁺」やHiPIMSなど、Hauzerのコーティングテクノロジーをすべて搭載可能とした。カソード搭載可能箇所数は7ヵ所（Flexicoatシリーズではこれまで最大6ヵ所）に拡張。チャンバー内や装置各所へのアクセスのしやすさを向上した。冷却しながらハイパワー成膜を可能とする冷却パネルによって成膜レートを向上。標準オプションとして、リトラクタブルヒーター＆冷却パネルを用意している。