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第27回機械要素技術展

 

トーソー・SMD、スパッタリングターゲットの生産能力増強

 東ソーグループのトーソー・SMD(本社:米国オハイオ州)は、スパッタリングターゲット製造設備の生産能力増強を決定した。

 東ソーの高機能材料事業で取り扱うスパッタリングターゲットは、半導体・フラットパネルディスプレイ・太陽電池などのエレクトロニクス分野における薄膜形成材料として使用されており、今後もさらなる需要の拡大が見込まれている。

 同社は、半導体市場における薄膜形成材料の供給能力不足を受けて、2021年7月に生産能力増強に着手。その後、想定を超える需要拡大が見込める状況となったことから、生産能力をさらに増強することで、高まる顧客要請に対応し、安定供給体制の確立を図る。