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SEMICON Japan 2024

 

ブルカー、AFMタッピングモード用純正シリコンカンチレバーの販売を開始

 ブルカーは、オリンパス製マイクロカンチレバーOMCL-AC160TS-R3/C3とOMCL-AC240TS-R3/C3シリーズの販売終了に伴い、その完全後継品となるタッピングモード用純正シリコンカンチレバー「OTESPA-R4」と「OLTESPA-R4」の販売を開始致した。プローブ設計、プローブ製造装置、製造プロセスが同じである完全後継品のため、従来のオリンパスマイクロカンチレバーと同じ使用方法・条件での使用が可能。日本国内では、ブルカージャパン ナノ表面計測事業部(http://www.bruker-nano.jp)が取り扱いを開始している。

ブルカー製タッピングモード用純正シリコンカンチレバー「OTESPA-R4/OLTESPA-R4」 mst 表面改質
ブルカー製タッピングモード用純正シリコンカンチレバー「OTESPA-R4/OLTESPA-R4」

 

 場所を狙いやすい高解像度観察に最適なタッピングモード用シリコンカンチレバーの特長は、以下のとおり。

・高い水平分解能:三角形の形状を持つプローブは、探針先端が安定した鋭さを保つ。実際、背面アルミコート付きのプローブでさえ、探針の先端曲率半径は平均10nm以下となるように作られている。OTESPAプローブは、非常に応用範囲が広く、結晶表面、薄膜、ICデバイスなどの形状を優れた分解能で測定できる

・先端探針構造:鋭利な探針は、カンチレバー先端に配置されており、探針位置とサンプル測定位置の関係をAFMの光学顕微鏡で観察できるため、簡単・正確に位置合わせを行うことができる

 また、それぞれの完全後継品の特長は、以下のとおり。

 OTESPA-R4(OMCL-AC160TS-R3/C3後継品)は、優れたQ特性による高分解能イメージングを実現。共振周波数300kHz(標準値)とバネ定数26N/m(標準値)を両立。タッピングモードにおけるサンプルへのダメージを最小限に抑える。

 OLTESPA-R4(OMCL-AC240TS-R3/C3後継品)は、粘弾性測定やソフトサンプルに対応するバネ定数2N/m(標準値)のタッピングモード用シリコンカンチレバー。ソフトマテリアルの形状評価や粘弾性計測などに最適。

 仕様は以下のとおり。

ブルカー製タッピングモード用純正シリコンカンチレバー「OTESPA-R4/OLTESPA-R4」仕様 mst 表面改質