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メカニカル・サーフェス・テック2023年12月号 特集「DLCコーティングの現状と最新技術動向」12月25日に発行!

mst2312月号表紙 表面改質&表面試験・評価技術の情報誌「メカニカル・サーフェス・テック」の2023年12月号 特集「DLCコーティングの現状と最新技術動向」が当社より12月25日に発行される。

 今回の特集では、FCVA法によるDLC膜の三次元成膜技術の成果と課題および今後の研究動向について、同志社大学で取り組んでいるDLC膜の膜質制御と新たな被膜強度評価法について、DLC膜の光学的特性評価法のISO規格の概要とその活用方法について、大気中と乾燥窒素中のDLC膜のアルミ材によるトライボロジー特性の比較について、国内トップクラスのDLC生産量を誇る東研サーモテックの現状と今後の展開について、ガスクラスターイオンビームによるDLC膜の概要と高密度・低残留応力膜の形成について紹介する。

 

特集:DLCコーティングの現状と最新技術動向

◇PECVD成膜法およびFCVA成膜法による三次元部材へのDLC成膜と特性評価・・・鳥取大学 為野 悠人、東京工業大学 平田 祐樹

◇DLC膜の膜質制御と評価に関するこれまでの取り組み・・・同志社大学 中村 守正

◇DLC膜の光学的特性評価法のISO規格とその活用・・・DLC工業会 平塚 傑工

◇DLCコーティングのアルミ材による摩耗メカニズム・・・ナノコート・ティーエス 熊谷 泰、川本 秀士、坂下 武雄

◇DLCコーティングの特性を活用した新分野への展開・・・東研サーモテック 髙橋 顕 氏に聞く

◇ガスクラスターイオンビーム(GCIB)による高密度・低残留応力DLC膜の形成・・・野村鍍金 西山 昭雄、吉川 亮太、兵庫県立大学 豊田 紀章

連載

注目技術:半導体製造プロセス向けDLCコーティング・・・日本コーティングセンター

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