DLC工業会、2024年度講演会を開催

　DLC工業会は9月12日、千葉県柏市のナノテックおよびオンライン会議システムを利用したリモート方式により「2024年度講演会」を開催した。今回は、最新の半導体製造技術とDLC膜の応用をテーマに行われた。

　会の冒頭、挨拶に立った中森秀樹会長は「当工業会は設立当初、ISO規格を作る目的でニューダイヤモンドフォーラムとともに国に助成をお願いしながら10年近くやってきた。ISO規格を発行し現在に至るが、我々が現在持っているテーマとしてはISO規格をどのように産業界に広く知らしめていくかということが大事な要素となっている」と述べた。

　続いて、生田勝治氏（リックス）が「半導体製造の基盤技術と関連製品 ～洗浄技術と付帯機器～」、伊東祐介氏（ウエキコーポレーション）が「半導体製造とガストータルソリューション」、平塚傑工氏（トッケン）が「DLC膜の半導体製造技術への応用」、竹内光明氏（レスカ）が「半導体後工程における物理力評価及び試験装置」について講演。半導体に関する意見交換や質疑応答など、活発な議論が行われた。