トライボコーティング技術研究会( http://www.tribocoati.st )は6月1日、埼玉・和光の理化学研究所で、「平成24年度第1回研究会・総会」を開催した。
当日は大森整会長(理化学研究所主任研究員)の開会挨拶に続いて、以下のとおり講演が行われた。
「WPCとDLCの最近の話題」熊谷 正夫 氏(不二WPC 技術部 部長)・・・微粒子を高速で投射するショットピーニングの一種であるWPC処理とDLCコーティングについて解説。WPC処理は、金属表面の微細化やマイクロディンプルを形成することにより、金属の疲労強度向上と耐摩耗性向上を図る技術。講演では同処理の特徴のほか、同処理により形状制御を行った基材に対してDLCを成膜して密着性が向上した例などを紹介した。また、DLCに関しては密着性の向上が最大の課題として、基材とコーティング、その前に処理される熱処理などの総合的な内容の検討が必要であると解説した。
「大気圧プラズマを援用したダメージフリーな形状創成と表面仕上げ」山村 和也 氏(大阪大学大学院工学研究科附属 超精密科学研究センター 准教授)・・・大気圧プラズマを用いることにより、化学的反応を利用して高精度な加工を行うプラズマCVM(Chemical Vaporization Machining)を応用し、大気圧水蒸気プラズマの照射による表面改質と砥粒研磨加工を組み合わせたプラズマ援用研磨(Plasma Assisted Polishing)について解説。単結晶SiCウエハを用いて様々な試験・評価結果を提示し、表面の高品位な仕上げ加工を行う新しい方法について提案した。
引き続き平成24年度総会を開催、平成23年度活動報告・会計報告が行われ、平成24年度活動計画が発表された。次回研究会は9月6日~7日、三重で開催される予定。