Rtec-Instruments、ナノインデンテーションセミナーを開催

　Rtec-Instrumentsは2月2日、東京都葛飾区の東京理科大学でセミナー「ナノインデンテーションがわかる一日」を開催した。

　当日はまず、Rtec-Instruments日本法人社長の國井卓人氏が企業紹介と同社の多機能摩擦摩耗試験機MFT-5000を中心とするトライボロジー試験機、3Dプロファイラー、ナノインデンターを含む表面機械特性評価機器といった製品技術と採用実績などについて簡単に紹介した。

　続いて、東京理科大学　佐々木信也教授が「ナノインデンテーション法による薄膜・材料表面の測定技術とその活用法」と題して、ナノインデンテーション試験の基本原理から測定可能な機械的物性、測定値の再現性に影響するサーマルドリフトや圧子先端形状など校正が重要といった測定上のポイントについて解説したほか、Low-k材料のナノインデンテーション測定などの事例を紹介した。

　また、CSM Instrumentsおよびアントンパール在籍時からナノインデンテーション試験に携わってきたRtec-Instrumentsスイス支社のPhilips Kempe氏が新型ナノインデンター「SMT-2000 PIQ」について、最新のピエゾアクチュエーターと静電容量センサー、試料に均一に接触して押し込むリング内圧子などによって正確な押込み制御が可能で、コーティング薄膜から金属、セラミック、ポリマー、バイオ材料など幅広い材料の機械的特性を評価できるという特長について説明。特にウルトラナノ領域のインデンテーション試験が可能なため、半導体分野での適用に有用とした。そのほか、Cu添加・Ti添加ダイヤモンドライクカーボン（DLC）膜などの機械的特性評価事例などを示した。

　その後、佐々木教授がセンター長を務める東京理科大学 トライボロジーセンターと佐々木研究室のトライボロジー試験機・分析機器の見学会とディスカッションが行われた。