パルメソ、断面強さ分布精密試験装置のフラッグシップモデルを発売開始

　パルメソは、100nm以下の超高分解能試験のニーズに合わせて開発された断面強さ分布の精密試験装置「MSE」のフラッグシップモデル「MSE-B401」の発売を開始した。数値制御を新たに採用することで高分解能を実現、試験条件も簡単に合わせることが可能。さらに、同じ試料内での多点計測と試験位置設定もカメラ機能で実現。超高分解能試験装置でありながら使い勝手の良い設計となっている。

　フラッグシップモデルMSE-B401では、スタンダードモデルMSE-A203の①サブμmから数μmまで調整可能な深さ分解能、②1～250点まで設定可能な深さの試験点数、③設定回数まで完全自動のデータ取得動作、③平均粒径1～10μmの微粒子が選択・使用可能、④プロファイル重ね合わせ図・エロージョン進行グラフ・エロージョン率分布グラフなどの出力データ、⑤画面で3点セットをジャストインで表示確認可能といったデータの可視化、⑥複数の試験プログラムを保存可能といった特長を継承。

　MSE-B401ではさらに、①100nm以下の超薄膜・ナノ構造・界面の精密解析が可能、②数値制御とビデオキャプチャー機能により、誰でも簡単・確実な試験位置決めが可能、③最大9カ所の多点設定により、データ収集スピードと網羅性を劇的に向上、④8時間の連続投射で長時間試験が可能、⑤半自動洗浄システムの導入により、試験後の作業負担を大幅に軽減、⑥防振ユニット内蔵といった特長を加えている。

　パルメソでは、以下のようなニーズにMSE-B401推奨している。
・極薄膜・ナノ構造の限界に挑む研究者・技術者
・硬質コーティングや厚膜の「長寿命・耐久性」の精密予測
・「試験の属人化」や「設定の難しさ」の数値化を図りたい評価担当者
・マトリックス（母材）と複合材（欠陥などの内包）の強度を別々に評価したい
・次世代デバイスや半導体などの極薄膜の強度・界面解析