島津製作所、結晶シリコン型太陽電池セル生産プロセス向けに反射防止膜成膜装置と検査装置

反射防止膜成膜用プラズマCVD装置「MCXS」　島津製作所は、結晶シリコン型太陽電池セル生産プロセス向けに、反射防止膜成膜装置「MCXS」および検査装置「SCI」シリーズ2機種を発売する。

　同社は、新開発のホローカソードプラズマソースおよびダイレクトプラズマの採用により、高スループットで低ランニングコスト、高いPID（Potential Induced Degradation：電圧誘起出力低下）耐性を有する反射防止膜を成膜するプラズマCVD装置「MCXS」を開発した。同装置は、高密度プラズマが基板の表面や内部に存在する結晶欠陥を修復し、太陽電池の特性を改善させるため、高変換効率化にも効果がある。

　また、低周波・高密度プラズマにより高速に成膜を行うため、同装置を用いて製作した結晶シリコン型太陽電池モジュールは、高いPID耐性を有することを、産業技術総合研究所（以下、産総研）が主催する「第II期高信頼性太陽電池モジュール開発・評価コンソーシアム」での検証結果により実証した。

複合検査装置「SCI-8SM」（左）、外観検査装置「SCI-8S」（右）　一方で、太陽電池の品質競争も激しさを増している。生産性を向上しつつ、品質管理を厳格にするために、太陽電池セルの生産工程において現在主に人手で行われている検査の自動化が強く求められている。このニーズに応えるため、マイクロクラックとウエハ外観の1台同時検査を可能にした複合検査装置「SCI-8SM」および業界最小サイズの外観検査装置「SCI-8S」を新たに開発した。これらの検査装置は、ライン停止による長期の生産中断の防止や、歩留まりの向上に効果を発揮する。