オリンパス、表面形状などを3Dで測定する工業用顕微鏡2機種を同時発売

LEXT OLS4500　オリンパスは、研究・開発や品質管理の場面で使用される工業用レーザー顕微鏡として、微細な電子デバイスや高機能素材などの表面形状を3次元（3D）で観察・測定する3D測定レーザー顕微鏡「LEXT OLS4100」、また、より高倍率のナノ領域の観察・測定が可能なナノサーチ顕微鏡「LEXT OLS4500」の販売を開始する。

　「LEXT OLS4100」は、対象物をレーザーでスキャンすることで、電子デバイスなどの複雑な表面形状に接触せずに3Dで測定できる。同社従来機と同様に、複数回の測定値のばらつきの小ささを示す繰り返し性と正確さの両方を保証し、さらに広い領域での高解像観察と高精度測定が可能となった。また、ワンクリックで自動的に3D画像を取得する機能や、画像取得速度が従来機に比べ約2倍になるなど、操作性能を向上させている。

　「LEXT OLS4500」は、レーザー顕微鏡と走査型プローブ顕微鏡（SPM : Scanning Probe Microscope）を組み合わせた複合顕微鏡で、1台で数十倍から百万倍以上の広範囲な倍率で観察・測定することができる。なお、同品は島津製作所と共同開発した。