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SEMICON Japan 2024

 

表面技術協会、8/22から「ドライプロセスの基礎と薄膜作製」

 表面技術協会( http://www.sfj.or.jp )は8月22~23日、千葉・習志野市の千葉工業大学 津田沼キャンバスで「ドライプロセスの基礎と薄膜作製」を開催する。同協会の会員は、講義・実習参加コースで30000円、講義のみで12000円。一般は同42000円、同24000円。希望者は 同協会ホームページから申込書をダウンロードのうえ、事務局宛に電子メール、Fax、郵送のいずれかの方法で申込む。

スケジュール
講義:8月22日(木) 10:30~17:00
10:40~12:00 真空とプラズマ 井上泰志氏(千葉工業大学工学部)
13:00~13:45 真空蒸着とイオンプレーティング 柏木邦宏氏(東洋大学名誉教授)
14:00~14:45 スパッタリング 中野武雄氏(成蹊大学理工学部)
15:00~15:45 CVDの基礎 伊藤 滋氏(東京理科大学理工学部)
16:00~16:45 薄膜の機械的評価 馬場 茂氏(成蹊大学理工学部)
17:30~18:30 技術交流会

実習:8月23日(金) 10:00~17:00
10:10~12:00 当日の予定/実習方法などについて 寺島慶一氏、井上泰志氏、坂本幸弘氏
13:00~17:00 午前の見学後、アンケートを実施→実習テーマを二つ選択、午後の実習に入る。
実習A プラズマCVDによるDLC薄膜作製
実習B スパッタリングによる化合物薄膜作製
実習C プラズマによる表面硬化/プラズマCVDによるダイヤモンド薄膜作製