パーカー熱処理工業、成膜速度と作業効率を高める複合コーティング装置

　パーカー熱処理工業（ http://www.pnk.co.jp/ ）は、Linear Ion Source（LIS）、UBM sputter、Filtered Cathodic Vacuum Arc（FCVA）の蒸着源を併用することで、DLCコーティングやセラミックコーティングなどの多層膜化や厚膜化を高密着に成膜できる装置「CarboZen」の販売を開始した。

　従来機では蒸着源が四つだったのに対して、同装置では最大八つまで設置することが可能になり、従来よりも成膜スピードを高めることができる。また作業時に、成膜の終わった被処理材をチャンバーから治具ごと取り出すことが可能になった。これにより、次回成膜用の治具を用意するとともに、オプションの移動用台車を使用することで作業効率を高めることができる。同装置は、韓国・J&L TECHの開発品。韓国国内や欧米の自動車・電機産業などで豊富な実績があるという。