オミクロンナノテク、高温ナノインデンテーション装置用ステージ

　オミクロンナノテクノロジージャパン（ http://www.omicron.jp/website/ ）は、同社が販売しているHysitron社製ナノインデンテーション装置「TI-950」用で、600℃以上の加熱が可能な高温ステージ「xSol 600」の販売を開始した。ステージデザインを一新することで、ドリフトの低減と試料酸化防止のガスフローシステムを搭載し、高い安定性を実現した。測定では、押込み試験用圧子を用いたSPM像を取得することで、試料表面の光学顕微鏡では観察できない微小な凹凸の観察ができ、その場での機械特性評価が可能となる。インデンテーションによる硬さ・弾性率測定はもとより、スクラッチ機能による膜の密着強度、圧子を動的に振動させる粘弾性測定（nanoDMAIII）で貯蔵/損失弾性率・tanδ等、多種のオプションの取り付けが可能となる。