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SEMICON Japan 2024

 

富士機械製造、世界最高水準の表面改質処理を実現した大気圧プラズマユニット

プラズマヘッド 富士機械製造は、樹脂、ガラス、金属の接着工程において世界最高水準の表面処理を実現する大気圧プラズマユニット「タフプラズマFPE20」を開発したと発表した。反応性の高いラジカル(活性化学種)を従来の18倍にすることに成功し、表面改質の短時間処理を可能にした。

 また、新開発したノズルは、10mm以上の離れた対象物や凹凸のある対象物の表面改質を行える。さらに、従来と同様に低温プラズマの特徴を継承しており、熱に弱いゴムや樹脂等への照射も可能にし、素材の変質を起こすことなく有機汚染物の除去、表面改質や高機能化、接着強度の向上を実現する。

 今後、顧客からのサンプル部材に対してプラズマ効果の実証評価体制を拡充させ、自動車航空宇宙、医療機器、電子機器産業などの市場を視野に新規需要の開拓を進めていく。