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SEMICON Japan 2024

 

2023年12月号

mst2312月号表紙s

 

 

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特集:DLCコーティングの現状と最新技術動向

◇PECVD成膜法およびFCVA成膜法による三次元部材へのDLC成膜と特性評価・・・鳥取大学 為野 悠人、東京工業大学 平田 祐樹

◇DLC膜の膜質制御と評価に関するこれまでの取り組み・・・同志社大学 中村 守正

◇DLC膜の光学的特性評価法のISO規格とその活用・・・DLC工業会 平塚 傑工

◇DLCコーティングのアルミ材による摩耗メカニズム・・・ナノコート・ティーエス 熊谷 泰、川本 秀士、坂下 武雄

◇DLCコーティングの特性を活用した新分野への展開・・・東研サーモテック 髙橋 顕 氏に聞く

◇ガスクラスターイオンビーム(GCIB)による高密度・低残留応力DLC膜の形成・・・野村鍍金 西山 昭雄、吉川 亮太、兵庫県立大学 豊田 紀章

連載

注目技術:半導体製造プロセス向けDLCコーティング・・・日本コーティングセンター

トピックス

表面設計コンソーシアム、設立講演会を開催

第16回岩木賞に、神戸製鋼所、大阪大学 孫 栄硯氏、宮崎大学 大西 修氏が受賞

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ASTEC2024 第19回先端表面技術展・会議

1
厚地鉄工

「梨地処理」「下地処理」「バリ取り」「ショットピーニング」ブラストのことなら厚地鉄工へ

2
Rtec-instruments

マイクロ/マクロ ピッチング試験機「MPT-3000」 白色干渉計「UPT-2000」

3
エンハンストマテリアル

アーク式PVDコーティング装置「alpha series」

4
大塚電子

形状のある実サンプルのDLCコーティング厚み測定に顕微分光膜厚計「OPTM series」

5
三洋貿易

トライボロジー評価装置「EV評価用試験機がついに日本上陸!」

6
新東科学

荷重変動型摩擦摩耗試験システム「HHS2200S」

7
東研サーモテック

社会を、未来を、進化させる力。―モノづくりを支える金属熱処理テクノロジー

8
トライボコーティング技術研究会

トライボシンポジウム:第26回「トライボコーティングの現状と将来」2024年2月22日(木)参加者募集中!

9
ナノコート・ティーエス

トライボロジーラボがバージョンアップ

10
ナノテック

ナノテックのHiPIMS 小型HiPIMSコーティング装置2024年春ローンチ予定

11
日本コーティングセンター

“新発売”水素フリーDLC「TETRAスリック」/“PFAS規制非該当”非粘着+耐摩耗性「モーグルシリーズ」

12
パーカー熱処理工業

用途で選べるDLCコーティングシステム「CARBOZEN series」

13
不二WPC

弊社のDLCがFDAにて認証されました

14
ブルカージャパン

新時代のナノ力学試験を可能にした最新ナノインデンター「Hysitron TI990 TriboIndenter」

15
レスカ

各種コーティングの強度(表面・擦傷・界面)を評価します。 摺動型はく離強度試験機「OST3000」

16