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SEMICON Japan 2024

 

フィッシャー・インストルメンツ、原子間力顕微鏡を備えたナノインデンター

フィッシャー・インストルメンツ「PICODENTOR HM500」 フィッシャー・インストルメンツ( http://www.helmut-fischer.com/ )は、ISO14577に準拠したナノインデンテーション(押込み)試験により薄膜等の硬さ、弾性特性値、さらにはナノレンジであってもその他材料パラメーターを高分解能、高精度で測定できる試験機「PICODENTOR HM500」の販売を行っている。

 同品は、大型で高精度なXYプログラミングテーブルにより、立体的なサンプルや複数の試料を自動で測定することができる。また、オプションのAFM(原子間力顕微鏡)を追加することで、ナノメートル領域で高解像度の表面三次元画像を取得し、薄膜などの組織の可視化と定量化が可能となる。主な用途は、DLC、TiN、CrNなどの硬質皮膜、各種めっき、センサー用のナノ被膜、金属材料など。

 なお、同社は1月29日から31日まで東京ビッグサイトで開催されるSURTECH2014に出展し、同品の紹介を行う。