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SEMICON Japan 2024

 

トリニティーラボ、膜の界面特性と表面特性が評価できる試験機

トリニティーラボ「フィルメータ ATPro 301」 トリニティーラボ( http://www.trinity-lab.com/ )は、1台で薄膜や厚膜、塗膜などの界面特性(付着・破壊強度)と表面特性(摩擦・引っ掻き強度)が測定できる被膜性能評価システム「フィルメータ ATPro 301」の販売を開始した。

 同品は、基材と膜の界面や多層膜における層間界面において、断面にピンで直線摺動させることにより外的応力を加え、膜のはく離、付着強度を測定する。また、10μmから1mm/secと極低速の速度範囲で摩擦係数を測定できるため、静止状態から摺動開始時に起こる試験体の弾性変形や摺動時の飛び跳ね現象を抑えたデータが得られる。このほか引っ掻き強度も測定が可能、摩擦係数との相関解明なども行える。各測定は付属のCCDカメラで撮影でき、試験の経過や各現象の可視化を容易にしている。

 なお、同社は1月29日から31日まで東京ビッグサイトで開催されるASTEC2014に出展し、同品の紹介を行う。