NTN、数plの液滴を塗布できる装置と塗布形状を三次元測定する装置を一体化

　NTN（ http://www.ntn.co.jp ）は、針の先端に付着させた数plの微細な液滴を、1回あたり0.1秒で高精度に塗布できる「卓上型高速微細塗布装置」に、塗布後の塗布形状を三次元測定する「微細三次元形状測定」機能を付加した「測定機能付微細塗布装置」の提案を開始した。

　同社では、2015年に開発した卓上型高速微細塗布装置の販売を推進する中、ますます微小化する電子部品(チップ部品)の実装分野では、塗布した接着剤の形状や塗布量を全数測定することで品質管理に活用したいニーズがあることが分かったという。これまで塗布と測定には個別の装置が必要だったが、今回開発した装置は、0.7秒の短時間で塗布から測定まで対応可能で生産性を向上する。。

　現在、チップ部品実装やMEMSセンサの量産ライン向けの適用検討が進んでいるという。材料を塗布した直後に塗布材料の三次元形状を測定し、塗布面積や塗布材料体積を算出することで、品質管理が可能となる。また、塗布処理ごとの測定結果による傾向管理から塗布量の調整をする機能の追加も可能だ。