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SEMICON Japan 2024

 

SCREENファインテックソリューションズ、フレキシブルディスプレー用ポリイミド塗布装置を開発

 SCREENファインテックソリューションズ( http://www.screen.co.jp/ )は、フレキシブルディスプレー用ポリイミド塗布装置「SK-Pシリーズ」を開発した。この装置の販売を2016年3月から開始、有機ELディスプレーをはじめとしたフレキシブルディスプレーの量産用途での適用を見込んでいる。

 次世代のディスプレーとして注目されている有機ELディスプレーは、ガラス基板だけでなく、プラスチック系のポリイミドを用いたフレキシブル基板に形成させることができる。ポリイミドを用いたフレキシブル基板は、薄くて軽く、柔軟で丸めることもできるため、高性能化、薄型化が要求されるウエアラブル端末や電子ペーパー、車載用ディスプレーなどへの活用に期待が寄せられている。しかし、現在のフレキシブル基板の製造工程においては、材料のポリイミドを大サイズのガラス製支持基板に薄く均一に塗布することが難しく、フレキシブルディスプレー量産化への大きな課題になっている。

 同社は、2013年から高粘度材料の塗布技術の開発を開始。世界シェアの約8割を誇るコーターデベロッパーで培った塗布・乾燥技術とノウハウを承継、活用し、光の透明度や乱反射に影響を与えるポリイミド内の微小なごみや気泡の発生を抑える技術を確立。厚さ約10μmのポリイミドを均一に塗布することに成功した。最大サイズは、第6世代と呼ばれる1500mm×1850mmまで対応でき、これを120秒以下で塗布処理することが可能。高品質なポリイミド膜が塗布できる歩留まり向上を実現した装置になっているという。

 同社は、同シリーズの発売により、需要の拡大が見込まれる次世代ディスプレーに対応したポリイミド塗布システムの業界標準を目指す。