ナノテック、日産とHiPIMSを用いた燃料電池セパレータ用DLC成膜装置開発

　ナノテック（ http://www.nanotec-jp.com/ ）は、日産自動車と共同で燃料電池のセパレータにHiPIMS（High Power Impulse Magnetron Sputtering：大電力パルスマグネトロンスパッタリング）法を用いてDLC膜を成膜するコーティング装置を開発した。すでに両社で特許を出願しており、このほど公開された。

　同装置は、電源にHiPIMS法を用いたことで1分間に厚さ1000nmと同社従来装置に比べて10倍の速度で成膜できるようにした。この電源は、高圧直流安定化電源の出力をコンデンサに充電し、そのエネルギーをIGBTでパルス状に変換して時間的に圧縮された大電力パルス出力を負荷へ供給する電源である。パルス状に通電と無通電を繰り返すことにより異常放電を抑制し、成膜の高速化を実現した。平均電力は従来電力と同等でありながら、瞬時に100kWを出力し、セパレータにカーボンを蒸着する。プラズマの密度は、10¹¹～10¹²と高密度プラズマが生成可能であり、アークの少ないグロー大電力パルスを形成でき、高品質なDLC膜を成膜できる。

HiPIMS法によるRoll to RollのDLC成膜装置